VMB閥門分配箱的設(shè)計(jì)與應(yīng)用

閥門配電箱(VMB)通常用于輸送特殊氣體。在半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、集成電路芯片生產(chǎn)領(lǐng)域，VMB廣泛應(yīng)用于磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆、有毒氣體等應(yīng)用。

近年來(lái)，智研數(shù)據(jù)研究中心，隨著中國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展，大大增加了電子燃?xì)馐袌?chǎng)的需求。電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已成為大勢(shì)所趨。
據(jù)了解，中國(guó)國(guó)產(chǎn)化取得可喜進(jìn)展:國(guó)內(nèi)高純氨改變了國(guó)外氣體公司的壟斷市場(chǎng)，高純四氟化碳“貴而不可得”的時(shí)代已經(jīng)結(jié)束。高純度氯化氫已于中國(guó)成功打開(kāi)。市場(chǎng)。因此，閥門分配系統(tǒng)的應(yīng)用將會(huì)越來(lái)越廣泛。

電子特種氣體VMB閥門分配箱應(yīng)設(shè)計(jì)進(jìn)氣管隔離閥和壓力指示器；氣路應(yīng)提供獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器和過(guò)流開(kāi)關(guān)；氣體分支應(yīng)配備獨(dú)立的出口隔離閥；管道上應(yīng)提供獨(dú)立的吹掃氣體設(shè)備和輔助真空設(shè)備。

對(duì)于惰性氣體，應(yīng)提供入口管道隔離閥和壓力指示器；氣路應(yīng)配備獨(dú)立的壓力控制閥、過(guò)濾器；應(yīng)為氣體分流提供單獨(dú)的出口隔離閥。

電子氣體，尤其是危險(xiǎn)的特殊氣體，是集成電路、光電子學(xué)、微電子學(xué)，尤其是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示設(shè)備、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程中必不可少的基礎(chǔ)支撐材料。這種材料在電子工業(yè)中被稱為“血液”和“食品”，它們的純度和清潔度直接影響光電產(chǎn)品的質(zhì)量。微電子元件的質(zhì)量、集成度、具體技術(shù)指標(biāo)和成品率從根本上限制了電路和器件的精度和準(zhǔn)確度。VMB閥門分配箱的引入是一對(duì)多點(diǎn)對(duì)點(diǎn)分支的核心單元。不僅保證了更多的用氣，也保證了用氣的安全性。