VMB閥門箱產(chǎn)品介紹：

VMB閥門分配箱，是一種內(nèi)嵌多支路，實現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。

VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應(yīng)用。對于每個使用點，壓力可被單獨地調(diào)控，從而可同時滿足不同應(yīng)用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維

VMB的每一部份。除此以外，設(shè)備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應(yīng)情況下，吹掃某一支路或?qū)ζ溥M行真空抽氣。

 半自動VMB閥門箱介紹：

半自動分配箱（VMB）：通過采用PLC控制，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥等裝置，實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導

體工藝生產(chǎn)過程中對高純介質(zhì)的連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。

適用氣體：易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業(yè)：Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校實驗室等。

面板基本配置：

    進口手動隔離閥
    進口氣動隔膜閥
    進口壓力傳感器
    吹掃壓力表
    單向閥
    減壓器
    過濾器

面板可選配置

    真空發(fā)生器
    測試端口閥門